Gall rhai gronynnau neu foleciwlau nwy heb eu casglu gael canlyniadau difrifol iawn mewn rhai prosesau. Dychmygwch pa niwed y gallai aer halogedig ei wneud i weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, disgiau caled ac i brosesau hynod sensitif eraill.
Mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae dulliau cynhyrchu uwch pen blaen yn galw am gyflenwad aer glân iawn gyda gofynion glendid yn cynyddu'n gyson. Mae maint y gronynnau critigol ar gyfer amgylchedd wafferi bellach yn is na 25 nm (2009) a rhagfynegir y bydd y maint hwn yn parhau i grebachu tuag at 10 nm erbyn 2017. Mae halogiad moleciwlaidd yn yr awyr (AMC) bellach yn broblem fawr i bob fabs microelectroneg uwch. Gwelwyd ystod eang o effeithiau AMC sy'n effeithio ar gynnyrch cynhyrchu. Er enghraifft, dangoswyd bod cyrydiad asidig disgiau caled neu wafferi, dyddodiad organig cyddwysadwy ar arwynebau sensitif neu amlygiad i lefelau isel o amonia i gyd yn effeithio ar gamau proses amrywiol.
Calon yr ystafell lân yw ei hidlwyr, ond mae yna nifer o ystyriaethau o ran dosbarthiad ystafell, dewis hidlydd, a sut mae hidlwyr yn dylanwadu ar yr amgylchedd.
Mae SAF mewn sefyllfa dda i argymell yr ateb gorau ar gyfer rheoli gronynnau uwch ac AMC diolch i fwy na 16 mlynedd o brofiad ym maes rheoli halogiad microelectroneg a lled-ddargludyddion, a thrwy ein rhan yn y Map Ffordd Technoleg Rhyngwladol ar gyfer Lled-ddargludyddion.
Mae hidlwyr HEPA, ULPA a moleciwlaidd yn cael eu cynhyrchu o fewn amgylcheddau rheoledig mewn gweithfeydd ardystiedig ISO 9000 SAF. Gallwn gynhyrchu'r un math o hidlwyr mewn safleoedd gweithgynhyrchu lluosog. Mae ein gallu cynhyrchu mawr yn sicrhau bod ein cynnyrch ar gael bob amser ledled y byd.
Diogelu:
-
Wafferi a lled-ddargludyddion
-
Offer prosesau microelectroneg
-
Gyriannau disg caled
-
Byrddau cylched printiedig
-
Arddangosfeydd panel gwastad
-
Paneli solar